В работе представлены некоторые результаты, полученные при разработке низкоэнергетичных плазменных источников электронов, формирующих электронные и ионные пучки с параметрами, достаточными для реализации ряда технологий модификации поверхностей.
Ключевые слова: низкоэнергетичные пучки, плазменный источник электронов, электродная структура.
Груздев Владимир Алексеевич – доктор технических наук, профессор кафедры физики радиотехнического факультета Полоцкого государственного университета, Новополоцк, Беларусь
Залесский Виталий Геннадьевич – кандидат физ.-мат. наук, доцент, заведующий кафедрой физики радиотехнического факультета Полоцкого государственного университета, Новополоцк, Беларусь
Солдатенко Павел Николаевич – ассистент кафедры физики радиотехнического факультета Полоцкого государственного университета, Новополоцк, Беларусь